电子级超纯水检测

 指标\级别

 EW－Ⅰ

 EW－Ⅱ

EW－Ⅲ 

EW-Ⅳ

电阻率 MΩ，cm(25℃)

18以上，（95％时间）不低于17

15，（95％时间）不低于13

 12.0   

0.5   

全硅，最大值,μg/L

2

10

50

1000

＞1μm微粒数，最大值，个/mL

0.1

5

10

500

 细菌个数，最大值，个/mL

0.01

0.1

10

100

 铜，最大值，μg/L

0.2

1

2

500

 锌，最大值，μg/L

0.2

1

5

500

 镍，最大值，μg/L

0.1

1

2

500

 钠，最大值，μg/L

0.5

2

5

1000

 钾，最大值，μg/L

0.5

2

5

500

 氯，最大值，μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

 磷酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

 硫酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

 总有机酸，最大值，μg/L

20

100

200

1000